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高纯度气体管道安装对材料有什么要求?

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  • 发布时间: 2024-02-22

所有高纯度气体管道中的高纯度气体都需要通过管道输送到仪器用点。(POU),为满足仪器对气体质量的要求,在气体出口指标一定的情况下,应更加重视配管系统的材料选择和施工质量。

 

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对于输送高纯气体管道,其影响气体质量的主要特点是气体反应、出气速率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蚀性。

气体作用性
各种材料对氧气的反应材料大气中氧气的反应(ppm)不锈钢管 O铜管 O聚丙烯管聚四乙烯管1l 12普通钢管 203 从表中可以看出,316LBA不锈钢管或316LEP不锈钢管必须用于输送ppm级和更高纯度要求的气体。如果不适当选择不符合要求的管道材料,无论采用什么净化方法,都无济于事。


出气速率
一些杂质,如氮、碳氢化合物等。,存在于材料冶炼过程中形成的管道材料的晶间或晶格中。在高纯气体输送过程中,这些杂质会慢慢释放出来,污染高纯气体,尤其是ppb以上的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气率较低。


吸附性
因为水等杂质容易吸附。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料容易吸附水分和其他杂质。用这些材料输送高纯气体容易被污染。除了ppm级以下的氧气外,铜管和塑料管不用于高纯气体,橡胶和塑料材料(包括聚四乙烯)不用于气体接触的垫片和填料。

表面粗糙,耐磨
为了保证输送的气体的纯度,要求管道材料的内表面具有较高的光洁度,以防止污染颗粒和水分滞留在管壁上,并且在吹扫时更容易吹干。管道光滑耐磨,可以在高速气流冲刷下产生较少的金属颗粒,不锈钢比铜管产生的颗粒更少,因此不锈钢管比钢管具有更好的耐磨性。

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