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所有高纯度气体管道中的高清洁气体都需要通过管道输送到仪器上。(POU)，为满足仪器对气体质量的要求，在气体出口指标一定的情况下，应更加重视配管系统的材料选择和施工质量。
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对于高纯气体管道的运输，其影响气体质量的主要特点是气体反应、出气速度、吸附力、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蚀性。
气体作用性
空气中氧气的反应是由不同材料对氧的反应材料制成的。(ppm)不锈钢管 O铜管 O聚丙烯管聚四乙烯管1l 12普通钢管 203 从表中可以看出，316LBA不锈钢管或316LEP不锈钢管必须用于运输ppm级及更高纯度的气体。如果我们不恰当地选择不合格的管道材料，无论采用什么净化方法，都无济于事。
出气速度
一些杂质，如氮、氮氧化合物等。，存在于材料冶炼过程中形成的管道材料的晶间或晶格中。在高纯气体输送过程中，这些杂质会慢慢释放出来，污染高纯气体，尤其是ppb以上的高纯气体。一般低碳不锈钢管出气速度较低。
吸附力
因为水等杂质容易吸附。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料容易吸附水分等杂质。运输高纯气体时，这些材料容易被污染。除了运输ppm级以下的氧气外，铜管和塑料管不应用于高纯气体，橡胶和塑料材料(包括聚四乙烯)不应用于气体接触的垫片和填料。
表面粗糙，耐磨
为了保证输送气体的纯度，要求管道材料的内层具有较高的光洁度，以防止污染颗粒和水分停留在管壁上，并且在吹扫时更容易吹干。管道光滑耐磨，在高速气流冲刷下可以产生较少的金属颗粒，不锈钢产生的颗粒比铜管少，所以不锈钢管的耐磨性比钢管好。
耐腐蚀性
在微电子生产中，一些腐蚀性气体经常被使用。此时，必须选择耐腐蚀的管道，否则管道会被腐蚀，轻度表面会生锈。严重的管道会大规模脱落穿孔，不仅会污染气体，还会造成危险事故。
